微型噴孔片之製作技術研發

Steven-Yang

作者:
李聰瑞1,3、沈聖智1,4、陳易呈1、王郁仁1、林昌緯2、謝淑品2
1.工業技術研究院/南分院/微系統科技中心；2.微邦科技股份有限公司
3.國立成功大學奈米科技暨微統工程研究所；4.國立成功大學系統與船舶機電工程系

摘 要:
微型噴孔片(Micro-Nozzle Plate)是攸關噴墨列印品質之重要關鍵元件，因高解析度的列印需要各式元件與微系統精密的整合，故微型噴孔片扮演著極為重要之角色。本研究提出一新穎之技術，整合LIGA-like製程、微電鑄技術與精密微細射出成型技術研發應用於噴墨頭之微型噴孔片，以期能降低生產成本、提高產品競爭力。本研究載具為符合1200dip要求之微型噴孔片，其規格為厚度≦80um(含30um流道深度)、間距≦84μm、孔徑≦25um的多微孔陣列微型噴孔片。此技術亦可應用於生物科技、醫療器材、消費性電子與光通訊等高科技產業。



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