SJ6000激光干涉仪测量平面度的应用

szzhongtu5

平面度测量：
1.平面度测量原理
　　SJ6000激光干涉仪平面测量是在角度测量的基础上做的延伸，利用角度测量的附件记录下一系列平面位置角度，再转化为高度的变化。一般按照对角线的方法测量出平台上不同位置的高度变化值，提供软件计算得到整个平台的平面度。

平面度测量光路原理图




平面度构建图

平面度测量配置：
平面度测量由以下组件构成：
激光器、角度测量光学镜组、平面度测量组件、测量软件


　　测量一个平面的平面度，需要在平面上采集若干条测量直线，平面度测量有常用的方法为：对角线法，又称米字法。

　　对角线法测量平面度时，若激光器位于G点出，光线射向E点时，建议按照EA、CA、DH、EG、AG、BF、CE、GC的次序进行测量。
平面度测量应用：
大理石平台、平板的平面度测量

大理石平台平面度测量

szzhongtu5

coasll