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SJ5701-200粗糙度轮廓测量仪是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的测量仪器;采用进口高精度光栅测量系统、高精度研磨导轨、高性能非接触直线电机、音圈电机测力系统、高性能计算机控制系统技术,实现对各种工件表面粗糙度和轮廓进行测量和分析。通过高精度研磨导轨、高性能直线电机保证测量的高稳定性及直线度,采用进口高精度光栅测量系统建立工件表面轮廓的二维坐标,计算机通过修正算法对光栅数据进行修正,最终还原出工件轮廓信息并以曲线图显示出来,通过软件提供的分析工具可对轮廓进行各种参数分析。 1. 表面轮廓评定:评定半径,角度, 距离, 坐标,圆,圆截面,确定各个点,相交各点,坐标轴,直线,垂直线,圆和圆截面,可对轮廓进行直线度、圆度分析等; 同时实现下列功能: (1)建立回归直线和圆形 (2)建立点、交点、自由点、中心点、最高点和最低点 (3)建立坐标系统 (4)计算半径、距离、角度、坐标及线性偏差 (5)实际值与标称值比较 (6)测量程序自动运行 2. 表面粗糙度评定:Ra,,Rz,Rt,RS,RSm,Rp,Rv,Rq,Rt,Rmax,D,Rmr曲线,Rdc等
3. 滤波:2RC滤波,高斯滤波和零相位滤波器 1. 粗糙度测量: ●基本参数: 测量范围:X轴200mm,Z1轴±80μm/ ±40μm/ ±20μm 直线度误差:≤0.15μm/20mm,≤0.5μm/200mm 示值误差:±5% 分辨率:Z1轴0.04μm(±80μm), 0.02μm(±40μm), 0.01μm(±20μm) 测量速度:0.5mm/s 和0.1mm/s可调 ●硬件结构: 测针:标准型(高度小于8mm)1支,触针半径2μm,静态测力0.75mN; 大理石平台:尺寸≥800×450mm; 电动立柱:高度≥450mm; ●测量软件 依照ISO3274等国际标准,能自动选取截止波长; ●测量参数 R粗糙度:Ra,Rq,Rz,Rmax,Rpc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,R3z,RSm,Rs,Rsk,Rku, Rdq, Rlq,Rdc,RHSC,Rmr,Rz-L,Rp-L,R3z-L,Rdc-L,RMr-L,Pdc-L,PMr-L 核心粗糙度:Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo P轮廓参数:Pa,Pq,Pt,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Plq,Pdc,PHSC,PPc,PMr, W波度轮廓参数:Wa,Wq,Wt,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdg,Wdc,WMr Motif参数:R,Ar,W,Aw,Rx,Wx,Wte,Nr,Ncrx,Nw,Cpm,CR,CF,CL ISO5436参数:Pt,D 轮廓类型:支持D,P,W,R ●滤波器: 高斯滤波器、RC滤波器,相位修正滤波器 滤波波段可选择,也可任意设定; 支持自动选择符合标准的过滤方式和取样长度; 2. 轮廓测量: (1)X轴 测量范围:0~200mm; 示值误差:±(0.8+2L/100)um,其中L为水平测量长度,单位:mm; 分辨率:0.01um; 直线度:2um/200mm 测量速度:0.1~5mm/s; 移动速度:0~30mm/s (2)传感器Z1轴: 测量范围:±25mm; 示值误差:±(1.6+|2H|/100)um,其中H为垂直测量高度,单位:mm; 分辨率:0.01um; (3)Z轴: 测量范围:0~450mm; 移动速度:0~30mm/s; (5) 测量力:10~150mN; (6) 爬坡能力:上坡77 o,下坡83o;
(7)工作台:旋转角度:360度,X、Y移动 :15mm。
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