三、实验设备与条件
本研究使用的实验设备主要可分为加工设备与检测仪器两部份:加工设备主要是使用美国AMETEK公司所生产的Freeform 700G超精密加工机,检测仪器则使用英国Taylor Hobson Form Talysurf轮廓仪及Fogale nanotech非接触式白光干涉仪。本研究实验使用荷兰Sub Micron Tooling公司所生产的天然单晶钻石车刀,刀鼻半径<=20μm、后斜角(Rake Angle)为0度、第一前隙角(Clearance Angle)为15度、第二前隙角(Clearance Angle)为55度、刀具切边轮廓度(Waviness Cutting Edge)<=0.1μm、刀具切边夹角(Windown Cutting Edge)为54度(如图3)。试片使用镍铜合金为材料,所有试片直径皆为φ12mm(如图4)。另外,本研究之微结构尺寸(如图5)。
图3:刀具检测报告 图4:模仁尺寸似意图 图5:微结构似意图 图6:模仁最大斜度之处 图7:加工模仁刀具使用到之角度 |
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