MarSurf LD130 日益增加的各种测量任务需要要求了对粗糙度和轮廓度的同事测量。为了满足这一需求，测量单元必须实现高级别的计量性能。亚纳米级的分别率，小于20nm的RZ残余误差仅是需求中的两项。 粗糙度和轮廓度二合一 高效的测量和定位极大的缩短了测量时间 测臂的实时识别带来更快和更可靠的测臂更换 基于标准化设计的友好界面，不需要完全的拆分机器即可实现仪器的保养 MarSurf LD 260 磁性测量基座支持多种测头，更换简单，维护保养可靠 • 定位精度可精确到微米，有防碰撞保护，纳米级的分辨率达到高刚性和稳定性 • 可靠的结果得益于用于高精度测量的校准程序 • 软件可设置测量力，在整个执行过程中恒定，确保测量灵活性和可靠性。可以选择最适合的测量力来满足工件的材料特性和所选测针 • 在MarSurf X系列中可通过形态过滤来提高精度 • 测臂更换不需要重新校准，磁性基座和每个测臂的校准数据被单独保存可确保测量的重复性 开始操作仪器便可以对形貌进行测量监督 尽早识别误差，节省纠正时间 仪器可输出不同的轮廓数据格式，并对机械加工进行控制（死循环） 增加灵活性和实用性 不同类型的旋转对称非球面只可用一套设备进行测量，不需额外增加设备 保证测量结果正确无误 高精度的MarSurf LD 260是精确测量工件的基础，垂直方向分辨率2nm，形状误差小于100nm，保证了非球面产品的再现性 整座测量系统固定在控制柜中，附件的减震装置大大降低了周围环境对设备精度的影响 MarSurf LD 260 采用内置激光测量系统，是高质量，高精度的轮廓和粗糙度测量仪，一次测量既可评价轮廓也可评价粗糙度。对于这些测量任务，你需要拥有大行程测量来测量轮廓半径和nm级的粗糙度的两台设备，而我们的一台仪器可以满足两种不同方式的测量 与激光干涉仪比较，接触式测量技术可实现光学粗糙度表面2D和3D测量，所以完全可在加工前进行测量和修正（精磨）。
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发表于 2014-1-8 13:28:22
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