基于激光干涉仪技术的精密角度测量系统

中图仪器

目前，在几何量测量中最重要的激光技术是用广电转换条纹计数等方法来测量长度，这种方法具有精度高、速度快、量程大、始于非接触测量及自动测量等优点。基于激光干涉仪技术的精密角度测量系统，通过角度转换装置将角度量转换为可以反映干涉光路中光程差变化的线性位移量，由此引起干涉条纹的变化，再通过相应电路对干涉条纹进行一系列处理，从而实现了对大转角的精密测量。具有结构简单、误差恒定、测量精度高、测角范围大、易于数字化等特点。

激光干涉仪利用激光作为长度基准，可以对数控设备（加工中心、三坐标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量。其中角度测量主要应用于运动轴的角摆测量和转轴的旋转角度测量。可高精度检测机床/三坐标精度误差。

激光干涉仪角度测量法原理
角度反射镜旋转时产生转角，或是移动过程中产生角摆，两束反射光会有相对应的光程差产生，SJ6000采集到该光程差的干涉信号，经过运算处理，即可得出对应的角度值。

角度测量原理构建图

激光干涉仪测量角度基本配置：
角度测量配置主要由SJ6000主机、角度镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成，可满足±10°范围内的角度测量。

运动轴的俯仰角度测量示意图

运动轴的偏摆角度测量示意图