B01 微型喷孔片之制作技术研发

作者:

李聪瑞1,3、沈圣智1,4、陈易呈1、王郁仁1、林昌纬2、谢淑品2

1.工业技术研究院/南分院/微系统科技中心；2.微邦科技股份有限公司

3.国立成功大学奈米科技暨微统工程研究所；4.国立成功大学系统与船舶机电工程系

摘 要:

微型喷孔片(Micro-Nozzle Plate)是攸关喷墨打印质量之重要关键组件，因高分辨率的打印需要各式组件与微系统精密的整合，故微型喷孔片扮演着极为重要之角色。本研究提出一新颖之技术，整合LIGA-like制程、微电铸技术与精密微细射出成型技术研发应用于喷墨头之微型喷孔片，以期能降低生产成本、提高产品竞争力。本研究载具为符合1200dip要求之微型喷孔片，其规格为厚度≦80um(含30um流道深度)、间距≦84μm、孔径≦25um的多微孔数组微型喷孔片。此技术亦可应用于生物科技、医疗器材、消费性电子与光通讯等高科技产业。

微型喷孔片之制作技术研发

李聪瑞1,3、沈圣智1,4、陈易呈1、王郁仁1、林昌纬2、谢淑品2

1工业技术研究院/南分院/微系统科技中心,2微邦科技股份有限公司

3国立成功大学奈米科技暨微统工程研究所,4国立成功大学系统与船舶机电工程系 

关键词: 微型喷孔片(Nozzle Plate)、光深刻模造技术(LIGA)、微电铸技术(Micro-Electroforming)、精密微细射出成型技术(Micro-Precision Injection Molding with Micro Structured Region)

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