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B01 微型喷孔片之制作技术研发

2007-9-15 15:57| 查看: 45523| 评论: 0|来自: 产学联盟

摘要: 作者:李聪瑞1,3、沈圣智1,4、陈易呈1、王郁仁1、林昌纬2、谢淑品21.工业技术研究院/南分院/微系统科技中心;2.微邦科技股份有限公司3.国立成功大学奈米科技暨微统工程研究所;4.国立成功大学系统与船舶机电工程系摘 ...

六、图表汇整
表1:Ni-Co合金电解液参数与电铸操作条件
 
 
图1 微细模仁制程图

图2 微型喷孔片全景模仁图及具锥形角的微细柱状模仁

图3 雷射能量密度与厚膜光阻蚀速率关系图(40 Hz、50shots)
 
图4 激光脉冲重复频率与聚亚酰胺剥蚀速率关系图 (0.445 J/cm2, 50 shots)
 
图5 激光脉冲重复次数与聚亚酰胺剥蚀深度关系图(40 Hz, 0.445 J/cm2)
 
图6 微型喷孔片之微结构图
 
图7 成型分离模式组装模具
 
图8 模具装配实体图
 

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